Quang khắc cực tím (EUVL)

Trang chủ / Tin tức / Công nghiệp ô tô / Quang khắc cực tím (EUVL)
Giới thiệu

Quang khắc cực tím (EUVL) là công nghệ tiên tiến sử dụng nguồn sáng 13.5 nm và là ứng cử viên hàng đầu cho nút 22 nm in thạch bản và hơn thế nữa. in thạch bản EUV hiện đang trong giai đoạn thử nghiệm với các công cụ 0.33-NA tại các cơ sở sản xuất chip. Sản xuất quy mô lớn dự kiến ​​​​sẽ diễn ra trong tương lai gần.

in thạch bản EUV các công cụ sử dụng nguồn plasma để tạo ra các photon 13.5 nm.​
Các mẫu từ mặt nạ phản chiếu được chuyển sang chất nền được phủ bằng vật liệu nhạy sáng gọi là chất quang dẫn. Kỹ thuật tạo mẫu xảy ra trong chân không trong cấu hình quang học phản xạ toàn phần.​ Chế tạo các mạch tích hợp có các đặc điểm được in nhỏ hơn 32 nm.

Nguyên tắc làm việc EUV

đèn EUV từ plasma được thu thập vào một bộ thu hướng ánh sáng vào quang học định hình được gọi là 'quang học chiếu sáng'. Ánh sáng chiếu sáng một photomask. Hệ thống quang học chiếu sáng bao gồm các gương tới bình thường được phủ nhiều lớp và các gương tới lướt qua.

Tôi V mặt nạ là các vật liệu giãn nở nhiệt thấp có kích thước 6 inch vuông, dày 1/4 inch có lớp phủ phản chiếu nhiều lớp và lớp hấp thụ được khắc vào lớp mạch. Hình ảnh phản chiếu của mặt nạ EUV đi vào quang chiếu bao gồm sáu gương đa lớp trở lên có NA > 0.25.

Hình ảnh cuối cùng được tập trung vào một tấm wafer silicon được phủ một chất chống ăn mòn hoặc chất quang dẫn nhạy cảm với ánh sáng. Hệ thống hoạt động trong môi trường có hàm lượng hydrocarbon thấp, độ chân không cao.​

Trong số nhiều thách thức phải đối mặt là nguồn sáng, điện trở, cơ sở hạ tầng mặt nạ và phát triển các công cụ in thạch bản tiết kiệm.​

Vật liệu chống chịu phải có độ phân giải cao, độ nhạy cao, độ nhám cạnh đường thấp (LER) và độ thoát khí thấp đồng thời.​

EUV – Cập nhật công nghệ
  • Nhiều mẫu 
  • Lắng đọng lớp nguyên tử (ALD) 
  • hạt 
  • Được mệnh danh là NA cao 
  • Nền tảng NA cao, được gọi là 'EXE 
Kỹ thuật in thạch bản EUV: Tiếp theo là gì?​
  • Thị trường in thạch bản EUV dự kiến ​​sẽ tăng từ 2.98 tỷ USD năm 2018 lên 10.31 tỷ USD vào năm 2023, với tốc độ CAGR là 28.16%. â € <
  • Rào cản lớn trong EUVL – là yêu cầu nguồn sáng công suất cao để chiếu sáng chất quang dẫn. Thiết bị vận chuyển ASML với bức xạ 250W công suất và khả năng tạo ra bức xạ 450W.â € <
  • Một thách thức khác trong EUVL – đó là khả năng hấp thụ mạnh bức xạ EUV của tất cả các vật liệu. Điện trở EUV được cấu trúc sao cho việc in diễn ra ở dạng rất mỏng lớp hình ảnh ở bề mặt của điện trở. Hơn nữa, vật liệu chống EUV sẽ phải phát triển cùng với sự phát triển sắp tới trong công nghệ nguồn sáng. â € <
  • Kỹ thuật in thạch bản thế hệ tiếp theo ngoài EUV bao gồm quang khắc tia X, quang khắc chùm tia điện tử, quang khắc chùm ion tập trung và in dấu nano in thạch bản. Nanoimprint được định vị để thành công trong EUV nhờ tính đơn giản vốn có và chi phí vận hành thấp cũng như sự thành công của nó trong lĩnh vực LED, cứng cáp. ổ đĩa và các lĩnh vực vi lỏng.â € <
Tác giả
Chandandeep Kaur & Harvinder Singh
 
Về TTC
Chúng tôi liên tục xác định giá trị của công nghệ mới được thực hiện bởi đội ngũ điều hành khá lành nghề với nền tảng là chuyên gia của chúng tôi. Giống như các chuyên gia IP mà chúng tôi trao quyền, sự khao khát phát triển của chúng tôi là không bao giờ kết thúc. Chúng tôi CẢI TIẾN, THÍCH ỨNG và TRIỂN KHAI một cách chiến lược.
 
Bạn cũng có thể LIÊN HỆ VỚI CHÚNG TÔI để thiết lập một cuộc tư vấn.
 
TT tư vấn cung cấp một loạt các giải pháp hiệu quả, chất lượng cao để quản lý sở hữu trí tuệ của bạn, từ Tìm kiếm bằng sáng chếTìm kiếm không hợp lệFTO (Tự do hoạt động)Tối ưu hóa danh mục bằng sáng chếGiám sát bằng sáng chế, Bằng sáng chế Tìm kiếm vi phạmSoạn thảo & Minh họa bằng sáng chế, và nhiều hơn nữa. Chúng tôi cung cấp cho cả các công ty luật và tập đoàn trong nhiều ngành các giải pháp chìa khóa trao tay.
dung dịch.
Chia sẻ bài viết

Danh Mục

TOP

Yêu cầu gọi lại!

Cảm ơn bạn đã quan tâm đến TT Consultants. Vui lòng điền vào biểu mẫu và chúng tôi sẽ liên hệ với bạn ngay

    Popup

    MỞ KHÓA SỨC MẠNH

    Của bạn Ý tưởng

    Nâng cao kiến ​​thức về bằng sáng chế của bạn
    Thông tin chi tiết độc quyền đang chờ đợi trong Bản tin của chúng tôi

      Yêu cầu gọi lại!

      Cảm ơn bạn đã quan tâm đến TT Consultants. Vui lòng điền vào biểu mẫu và chúng tôi sẽ liên hệ với bạn ngay